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单体镀膜机接连镀膜线EDWARDS爱德华真空泵GXS系列干式螺杆真空泵

发布时间:2026-01-10 来源:研发生产

  深圳市托理拆利机电设备有限公司是欧洲Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时供给技术上的支撑及售后服务,针对各个职业工艺端规划供给合适的负压真空体系解决方案,为光伏真空设备、科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、校园高真空设备供给优化的真空解决方案。

  1. 无油洁净:干式螺杆+非触摸长寿命轴封,真空腔无油蒸汽污染,提高膜层附着力与良率(百格5B级) 。

  2. 快速抽暇:从大气压到10 mbar约8秒(比油封泵快约2倍),接连线. 粉尘/腐蚀耐受:螺杆突变紧缩,可处理1 kg粉尘,合作主动吹扫,整理周期延至60天,适配镀膜粉尘与反响气体。

  - 单体镀膜机:GXS160/250适配中小腔体,快速抽暇+安稳真空,保证膜层质量。

  - 接连镀膜线或与罗茨泵组合,满意大腔体/多腔室并行抽气,无油污染保证接连生产良率,主动吹扫削减保护停机。

  - 工艺适配:PVD溅射/蒸腾、DLC、光学膜等,提高真空度与均匀性,下降缺点率。

  1. 腔体容积:小腔选GXS160/250;中大型/接连线. 抽气需求:高节拍优先GXS750,快速抽暇提高产能。

  3. 工艺环境:粉尘/腐蚀工况选GXS450/750,配主动吹扫与冲刷附件。

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