详细资料：

  是在低压高温的条件下，通过化学反应气相外延的方法在衬底上沉积各种功能薄膜（主要是Si

  由石英管反应室、隔热罩炉体柜、电气控制管理系统、真空系统、气路系统、温控系统、压力控制管理系统及气瓶柜等系统组成。

  反应室由高纯石英制成，耐腐蚀、抗污染、漏率小、适合于高温使用; 设备电控部分采用了先进的检测和控制管理系统，量值准确，稳定性很高、可靠。

  该设备是在低压高温的条件下，通过化学反应气相外延的方法在衬底上沉积各种功能薄膜（主要是Si3N4、SiO2及Poly硅薄膜）。

  设备为水平管卧式结构，由石英管反应室、隔热罩炉体柜、电气控制管理系统、真空系统、气路系统、温控系统、压力控制管理系统及气瓶柜等系统组成。

  反应室由高纯石英制成，耐腐蚀、抗污染、漏率小、适合于高温使用; 设备电控部分采用了先进的检测和控制管理系统，量值准确，稳定性很高、可靠。

  整个工艺过程由计算机对全部工艺流程来管理，实现炉温、气体流量、压力、阀门动作、泵的启闭等工艺参数进行监测和自动控制。也可以手动控制。

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